更新時間:2023-07-07 13:58:39作者:佚名
mems即微機電系統(tǒng)(英語:Microelectromechanical Systems,縮寫為MEMS)是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業(yè)技術,它的操作范圍在微米范圍內(nèi)。比它更小的,在納米范圍的類似的技術被稱為納機電系統(tǒng)。
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