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ICP的工作原理：感耦等離子體原子發(fā)射光譜分析是以射頻發(fā)生器提供的高頻能量加到感應耦合線圈上，并將等離子炬管置于該線圈中心，因而在炬管中產(chǎn)生高頻電復磁場，用微電火花引燃，使通入炬管中的氬氣電離，產(chǎn)生電子和離子而導電，導電的氣體制受高頻電磁場作用，形成與耦合線圈同心的渦流區(qū)，強大的電流產(chǎn)生的高熱，從而形成火炬形狀的并可以自持的等離子體，由于高頻電流的趨膚效應及內(nèi)管載氣的作用，使等離子體呈環(huán)狀結構。

　　樣品由載氣（氬）帶入霧化系統(tǒng)進行霧化后，以氣溶膠形式進入等離子體的軸向通道，在高溫和惰性氣氛中被充分蒸發(fā)、原子化、電離和激發(fā)，發(fā)射出所含元素的特征譜線。根據(jù)特征譜線的存在與否，鑒別樣品中是否含有某種元素（定性分析）；根據(jù)特征譜線強確定樣品中相應元素的含量（定量分析）。

　　電感耦合等離子體(ICP)是目前用于原子發(fā)射光譜的主要光源。ICP具有環(huán)形結構、溫度高、電子密度高、惰性氣氛等特點，用它做激發(fā)光源具有檢出限低、線性范圍廣、電離和化學干擾少、準確度和精密度高等分析性能。