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韓國光刻膠供應(yīng)商?hào)|進(jìn)世美肯(DongjinSemichem)表示，近日通過了三星電子的EUV光刻膠可靠性測試（合格）。這款光刻膠為雙方合作研發(fā)，打破韓國EUV光刻膠完全依賴海外供應(yīng)商的局面，最快有望明年上半年向產(chǎn)線批量供應(yīng)。

據(jù)ETNews報(bào)道，業(yè)內(nèi)人士表示，“東進(jìn)世美肯在其位于京畿道的華城工廠開發(fā)了EUV光刻膠，并在三星電子的華城EUV生產(chǎn)線進(jìn)行了測試，最終獲得了資格?！辈⒀a(bǔ)充道：“兩家公司的合作，使得EUV光刻膠能夠以高技術(shù)水平快速開發(fā)。”

據(jù)了解，雖然KrF和ArF氟化物工藝的光刻膠在韓國已經(jīng)大量生產(chǎn)，但沒有能夠繪制更精細(xì)電路的EUV光刻膠。這是因?yàn)殚_發(fā)非常困難，韓國國內(nèi)使用的EUV光刻膠大部分是從日本進(jìn)口的。

2019年日本出臺(tái)出口限制措施后，東進(jìn)世美肯開始利用自己的基礎(chǔ)設(shè)施，如現(xiàn)有的氟化氬曝光機(jī)和比利時(shí)半導(dǎo)體研究所（IMEC）的EUV設(shè)備，將EUV光刻膠本土化。同時(shí)，三星提供了EUV測試環(huán)境并且成功提高了光刻膠質(zhì)量，使其能夠被成功應(yīng)用。

三星是否會(huì)立即在其半導(dǎo)體產(chǎn)線上使用東進(jìn)世美肯的EUV光刻膠，還有待觀察。通常情況下，測試合格后就會(huì)用于大批量生產(chǎn)。因此，有人預(yù)測，最早將于明年上半年供應(yīng)。

雙方拒絕就EUV光刻膠認(rèn)證是否通過一事向ETNews發(fā)表評(píng)論。三星有關(guān)人士表示:“無法與合作伙伴確認(rèn)是否通過EUV光刻膠驗(yàn)證”，“正在努力使半導(dǎo)體材料、零部件、設(shè)備（來源）多樣化?！?/p>

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