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“平面度0.1”是指包容實際平面的兩個理想平行平面之間的距離，是0.1mm。平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差。公差帶是距離為公差值t的兩平行平面之間的區(qū)域。平面度屬于形位誤差中的形狀誤差。

平面度測量是指被測實際表面對其理想平面的變動量。平面度誤差是將被測實際表面與理想平面進行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測量實際表面上若干點的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。