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1、單晶片和外延片的保存；可將拋光后的單晶片或外延片裝入一樣大小的小塑料袋內(nèi)，每袋裝一片，或背靠背可裝二片，然后，將小塑料袋疊好，裝入尺寸定做的硬紙盒內(nèi)，盒內(nèi)上部多余空間再放點小包硅膠防潮，蓋上盒蓋后，在盒蓋表面再寫上批次、型號、入庫時間、數(shù)量等。

2、當(dāng)要使用單晶片和外延片時，只要從倉庫按需取出，然后將硅片從塑料袋內(nèi)小心取出，放入化學(xué)瓷坩堝內(nèi)進行化學(xué)清洗，清洗完了最后用去離子水沖凈烘干即可使用。

3、如果是化開的小芯片保存，則只要用小燒杯或玻璃培養(yǎng)皿進行超聲清洗后再烘干，烘干后如短期存放就直接放在干凈的玻璃培養(yǎng)皿內(nèi)蓋上，然后再放入有磨口的玻璃干燥器內(nèi)。

4、烘干后如長期存放，就在干凈玻璃培養(yǎng)皿內(nèi)放一層定性濾紙，然后在定性濾紙上再放一層小芯片，面上再蓋一層干凈定性濾紙，接著又放一層小芯片，反正，這樣交替疊放，裝滿為止，最后用配套的玻璃培養(yǎng)皿蓋上再放入有磨口的玻璃干燥器內(nèi)或真空干燥箱內(nèi)保存。

5、當(dāng)要使用小芯片時，只需取出用丙酮——乙醇超聲機上清洗，最后用去離子水沖凈烘干即可使用。