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2023-10-20
更新時間:2023-10-20 20:14:47作者:佚名
1、晶片材料
硅片的成分是硅,硅由石英砂精制而成。硅片經(jīng)硅元素(99.999%)提純后制成硅棒,成為制造集成電路的石英半導(dǎo)體材料。芯片是芯片制造所需的特定晶片。晶圓越薄,生產(chǎn)成本就越低,但對工藝的要求就越高。
2、晶圓涂層
晶圓涂層可以抵抗氧化和溫度,其材料是一種光致抗蝕劑。
3、晶圓光刻顯影、蝕刻
首先,在晶圓(或基板)表面涂覆一層光刻膠并干燥。干燥的晶片被轉(zhuǎn)移到光刻機(jī)上。通過掩模,光將掩模上的圖案投射到晶圓表面的光刻膠上,實現(xiàn)曝光和化學(xué)發(fā)光反應(yīng)。曝光后的晶圓進(jìn)行二次烘烤,即所謂曝光后烘烤,烘烤后的光化學(xué)反應(yīng)更為充分。
最后,顯影劑被噴在晶圓表面的光刻膠上以形成曝光圖案。顯影后,掩模上的圖案保留在光刻膠上。糊化、烘烤和顯影都是在均質(zhì)顯影劑中完成的,曝光是在平版印刷機(jī)中完成的。均化顯影機(jī)和光刻機(jī)一般都是在線操作,晶片通過機(jī)械手在各單元和機(jī)器之間傳送。
整個曝光顯影系統(tǒng)是封閉的,晶片不直接暴露在周圍環(huán)境中,以減少環(huán)境中有害成分對光刻膠和光化學(xué)反應(yīng)的影響。
4、添加雜質(zhì)
相應(yīng)的p和n半導(dǎo)體是通過向晶圓中注入離子而形成的。
具體工藝是從硅片上的裸露區(qū)域開始,將其放入化學(xué)離子混合物中。這個過程將改變摻雜區(qū)的傳導(dǎo)模式,使每個晶體管都能打開、關(guān)閉或攜帶數(shù)據(jù)。一個簡單的芯片只能使用一層,但一個復(fù)雜的芯片通常有許多層。
此時,該過程連續(xù)重復(fù),通過打開窗口可以連接不同的層。這與多層pcb的制造原理類似。更復(fù)雜的芯片可能需要多個二氧化硅層。此時,它是通過重復(fù)光刻和上述工藝來實現(xiàn)的,形成一個三維結(jié)構(gòu)。
5、晶圓
經(jīng)過上述處理后,晶圓上形成點陣狀晶粒。用針法測試了各晶粒的電學(xué)性能。一般來說,每個芯片都有大量的晶粒,組織一次pin測試模式是一個非常復(fù)雜的過程,這就要求盡可能批量生產(chǎn)相同規(guī)格型號的芯片。數(shù)量越大,相對成本就越低,這也是主流芯片設(shè)備成本低的一個因素。
6、封裝
同一片芯片芯可以有不同的封裝形式,其原因是晶片固定,引腳捆綁,根據(jù)需要制作不同的封裝形式。例如:DIP、QFP、PLCC、QFN等,這主要取決于用戶的應(yīng)用習(xí)慣、應(yīng)用環(huán)境、市場形態(tài)等外圍因素。
7、測試和包裝
經(jīng)過上述過程,芯片生產(chǎn)已經(jīng)完成。這一步是測試芯片,去除有缺陷的產(chǎn)品,并包裝。